1960年後，英國國家工程實驗所及國家物理實驗所共同研究出使用線性光柵式及莫瑞條紋來編碼，這就是今日所用cnc三次元坐標測量儀數值讀出方式，cnc三次元介紹目前各軸移動最小讀數可達0.001 mm，然後再配合計算機應用。由於計算機軟件的設計為交談式，故在使用上十分方便，因而三坐標測量儀的使用，已為現代工業測量不可或缺的利器。